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商品名称：正版包邮半导体材料物理与技术杨建荣书店半导体技术书籍

商品编号：616477926424

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上架时间：2021-02-25 17:20:37

ISBN编号：9787030627322

书名：半导体材料物理与技术,半导体材料物理与技术

作者：杨建荣

出版社名称：科学出版社

定价：78.00元

是否是套装：否

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基本信息书名：半导体材料物理与技术作者：杨建荣出版社：科学出版社出版日期： 2020-01-01 版次： 1 ISBN： 9787030627322 市场价： 78.0 目录目录前言第1章概述 1 1.1 半导体材料 2 1.2 半导体材料物理与技术 4 1.2.1 半导体材料的物理基础 4 1.2.2 半导体材料的物理性能 6 1.2.3 半导体材料的制备技术 8 1.3 半导体材料的应用 9 第2章半导体材料的物理性能 17 2.1 晶体材料的原子结构 18 2.2 材料的成分参数 21 2.3 材料的宏观结构特性 21 2.4 材料中电子的能带结构 22 2.5 缺陷性能 33 ...

基本信息

书名：

半导体材料物理与技术

作者：

杨建荣

出版社：

科学出版社

出版日期：

2020-01-01

版次：

ISBN：

9787030627322

市场价：

78.0

目录目录
前言
第1章概述 1
1.1 半导体材料 2
1.2 半导体材料物理与技术 4
1.2.1 半导体材料的物理基础 4
1.2.2 半导体材料的物理性能 6
1.2.3 半导体材料的制备技术 8
1.3 半导体材料的应用 9
第2章半导体材料的物理性能 17
2.1 晶体材料的原子结构 18
2.2 材料的成分参数 21
2.3 材料的宏观结构特性 21
2.4 材料中电子的能带结构 22
2.5 缺陷性能 33
2.5.1 点缺陷 33
2.5.2 线缺陷 34
2.5.3 面缺陷 36
2.5.4 界面缺陷 37
2.5.5 体缺陷 38
2.5.6 表面缺陷 38
2.6 表面与界面性能 39
2.7 电学性能 41
2.7.1 平衡态下材料的电学特性 42
2.7.2 外场作用下的材料电学特性 46
2.7.3 非平衡态下的材料电学特性 48
2.7.4 载流子的碰撞电离特性 52
2.7.5 压电特性 52
2.8 光学性能 52
2.8.1 光在材料中的传播特性 53
2.8.2 材料的光吸收特性 53
2.8.3 材料的辐射特性 55
2.8.4 材料表面的光散射特性 56
2.9 磁学性能 56
2.10 力学性能 57
2.11 材料性能的非均匀性 58
2.12 热学与热力学性能 58
2.12.1 热学性能 58
2.12.2 相图 59
2.12.3 缺陷化学理论及其相关的材料热力学常数 64
2.12.4 材料中原子的扩散特性 65
第3章半导体材料的生长 71
3.1 晶体生长的基础理论 71
3.1.1 生长方式与驱动力 72
3.1.2 成核理论 73
3.1.3 生长速率和生长模式 75
3.1.4 平衡形态理论 78
3.1.5 生长过程中的传输理论 79
3.2 体晶材料的生长技术 82
3.2.1 布里奇曼法 83
3.2.2 区熔法 92
3.2.3 切克劳斯基法 94
3.2.4 物理气相传输法 100
3.3 外延材料的生长技术 102
3.3.1 液相外延 104
3.3.2 分子束外延 110
3.3.3 金属有机气相沉积 123
3.3.4 其他一些气相外延技术 130
3.4 低维材料生长技术简介 132
第4章半导体材料的热处理 137
4.1 热处理的基本原理 137
4.1.1 相平衡热处理 137
4.1.2 非平衡热处理 141
4.1.3 热处理过程中原子运动的基本规律 141
4.2 热处理工艺的实现方式 142
4.2.1 闭管热处理 142
4.2.2 开管热处理 143
4.2.3 快速降温热处理 146
4.2.4 快速热处理 146
4.2.5 高低温循环热处理 147
4.2.6 高压热处理 147
4.2.7 多源热处理 148
4.2.8 离子源热处理 150
4.3 半导体材料热处理的实际应用 151
4.3.1 本征点缺陷种类和浓度的调控 151
4.3.2 掺杂和杂质性质的调控 153
4.3.3 杂质浓度和位错密度的降低 154
4.3.4 体缺陷尺寸的减小 154
4.3.5 化合物材料组分分布的调整 155
4.3.6 半导体材料界面特性的改善 156
4.3.7 材料的隔离？剥离和粘接 156
4.4 热处理工艺的注意事项 156
第5章半导体材料性能参数的测量 161
5.1 几何结构特性的测量 162
5.2 光学性能的测量 164
5.2.1 透射光谱的测量 166
5.2.2 反射光谱的测量 168
5.2.3 椭圆偏振光谱的测量 169
5.2.4 散射光谱的测量 171
5.2.5 光荧光光谱的测量 172
5.2.6 阴极荧光光谱的测量 173
5.3 电学性能的测量 173
5.3.1 电阻率的测量 174
5.3.2 载流子特性的测量 177
5.3.3 表面光电压测量技术 184
5.3.4 光电导衰退法测量技术 185
5.3.5 微波反射法测量技术 186
5.3.6 光束诱导或电子束诱导电流的测量 188
5.3.7 深能级瞬态谱的测量 189
5.3.8 角分辨光电子能谱的测量 192
5.3.9 界面电学特性的测量 194
5.4 缺陷性能的测量 196
5.4.1 化学腐蚀法 196
5.4.2 热腐蚀法 200
5.4.3 散射光激光内容介绍半导体材料是二级学科“微电子与固体电子学”的一个分支学科，《半导体材料物理与技术》将这一分支学科的专业知识划分为半导体材料概述、物理性能、晶体生长、热处理、性能测量和工艺基础技术6个组成部分，通过把分散在众多教科书、专著和文献资料中的专业知识系统地纳入这一学科体系框架，使之成为一本全面介绍半导体材料物理知识、工艺基本原理和实用化技术的专业书籍。由于篇幅的限制，《半导体材料物理与技术》并未深入涉及物理学基本原理的推导、各种材料的性能参数和各类制备工艺的技术细节，需要时读者可运用搜索引擎来获取相关的内容。在线试读媒体评论

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