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- 商品名称：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用 顾长志等 科学出版社 9787030378255 工业技术 书籍
- 商品编号 ：635683255988
- 店铺：陕西新华发行图书专营店
- 重量：0.000千克
- 上架时间：2021-03-03 11:34:28
- ISBN编号 ：9787030378255
- 书名 ：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用(精)/纳米科学与技术,微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用(精)/纳米科学与技术
- 作者 ：顾长志|主编:白春礼
- 出版社名称 ：科学
- 定价 ：118.00元
- 开本 ：16开
- 是否是套装 ：否
- 编者 ：白春礼
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基本信息书名： 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用作者： 顾长志等编著出版社： 科学出版社出版日期： 2013-06-01版次： 31ISBN： 9787030378255市场价： 118.0目录目 录《纳米科学与技术》丛书序前言第1章 光学曝光１t１ １ 光学曝光系统的基本组成１t１ ２ 光学曝光的基本原理与特征３t １ ２ １ 光学曝光的基本模式与原理 目 录《纳米科学与技术》丛书序前言第1章 光学曝光１t１ １ 光学曝光系统的基本组成１t１ ２ 光学曝光的基本原理与特征３t １ ２ １ 光学曝光的基本模式与原理３t １ ２ ２ 光学曝光的过程６t １ ２ ３ 分辨率增强技术１７t１ ３ 短波长光学曝光技术２０t １ ３ １ 深紫外与真空紫外曝光技术２１t １ ３ ２ 极紫外曝光技术２１t ...
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