...... 基本信息 商品名称： 机械设计手册 微机电系统及设计 开本： 16开 作者： 闻邦椿 定价： 39.00 ISBN号： 9787111648970 出版时间： 2020-04-17 出版社： 机械工业出版社 印刷时间： 2020-04-01 版次： 6 印次： 1 出版说明前言第28篇微机电系统及设计第1章微机电系统概述1基本概念28-311微传感器28-312微执行器和微结构28-313微机电系统的基本特征28-414微机电系统技术和微*的比较28-42微机电系统发展历程28-43微机电系统及相关技术28-531微机电系统组成28-532微机电系统设计28-633微机电系统制造28-634微机电系统封装28-735微装配28-836系统封装（SiP）28-837微机电系统可靠性28-938微机电系统测试28-94微机电系统应用领域28-1041微机电系统在汽车中的应用28-1042微机电系统在医疗和生命科学领域中的应用28-1143微机电系统在电信领域中的应用28-11第2章微机电系统制造1体硅微机械加工技 ... 展开完整描述 ▼