本书介绍了微纳米制造领域涉及的各类加工技术及其应用特点。全书共7章：**章介绍了微纳制造技术的应用和分类；第2章介绍了微细机械加工和基于高能束的微细加工技术；第3章阐述了各类表面成膜与改性技术；第4章介绍了光刻、刻蚀、键合封装等半导体加工工艺；第5章介绍了微纳压印加工的各种方法；第6章阐述了各种纳米结构自组装成形技术；第7章介绍了生物去除加工、生物约束成形、生物复制成形等新型微纳加工方法。
本书具有很强的针对性、实用性和指导性，可以作为机械工程、微系统工程、微电子等领域工程技术人员的参考资料，也可以作为高等院校机械工程、仪器科学与工程、材料科学、化学等专业本科生及研究生的教材或参考书。
