●上篇 电子薄膜制备与测试分析
●章 电子薄膜基础知识
● 1.1 电子薄膜制备简介
● 1.2 真空技术基础
● 1.2.1 真空的定义
● 1.2.2 真空的获得
● 1.2.3 真空的测量
● 1.3 溅射镀膜工艺
● 1.3.1 直流磁控溅射原理
● 1.3.2 射频磁控溅射原理
● 1.4 蒸发镀膜工艺
● 1.4.1 真空蒸发镀膜原理
● 1.4.2 电阻式加热蒸发镀膜
● 1.4.3 电子束蒸发镀膜
● 1.4.4 脉冲激光沉积
● 1.4.5 分子束外延
● 1.4.6 其他蒸发镀膜方法
● 1.5 薄膜的生长过程
● 1.5.1 薄膜的生长模式
● 1.5.2 薄膜的形核与生长......
内容简介
本书中的实验均用于说明和演示半导体物理和微电子器件的基本原理，适合不同大专院校的师生使用。全书分上下两篇，上、下两篇既独立成篇又互为联系，隶属于电子科学与技术相关专业的知识体系，其中每篇又由“基础知识”和“实验”两部分构成。每个实验均包括学习目标、建议学时、实验原理、实验仪器、实验内容、实验步骤、思考题等，旨在培养学生的实验操作技能和实验思考技能。本书适用于电子科学与技术、材料科学与工程、无机非金属材料等专业方向的师生使用。
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